说到光刻机，很多人肯定都很陌生，也可能是第一次听见这个东西，那么光刻机是干什么用的呢？一起来了解一下吧。
光刻机是芯片制造的核心设备之一。
在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。
光刻机的结构组成
1、测量台、曝光台是承载硅片的工作台。
2、激光器就是光源，光刻机核心设备之一。
3、光束矫正器矫正光束入射方向，让激光束尽量平行。
4、能量控制器控制最终照射到硅片上的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量。
5、光束形状设置设置光束为圆型、环型等不同形状，不同的光束状态有不同的光学特性。
6、遮光器在不需要曝光的时候，阻止光束照射到硅片。
7、能量探测器检测光束最终入射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。
8、掩模版一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，贵的要数十万美元。
9、掩膜台承载掩模版运动的设备，运动控制精度是nm级的。
10、物镜物镜用来补偿光学误差，并将线路图等比例缩小。
11、硅片用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸，尺寸越大，产率越高。
12、内部封闭框架、减振器将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。
